нанасяне на покритие

Balzers ZH620

Състояние: добро (употребявано), Възможност: 2 броя Pfeiffer Classic 590 налични! Цена: 99 500 EUR/брой. Конфигурация на Coatеr 1: • 2x Pfeiffer TPH 2301 (2300 л/сек), напълно реновирани • Pfeiffer DCU 600 • 2x VAT дросел клапи 64048-pe48-ads2/0001 • 1x Pfeiffer PKR251 fullrange сензор • Pfeiffer TPR280 за предварителен вакуум • Pfeiffer DUO 120 предварителна помпа (120 м³/ч) • Вакуумна камера: за субстрат с кръгъл размер 840 мм • Включва екранировка и резервна екранировъчна система • 2x инспекционни прозорци • Няколко преминавания през стената • Въртящ се проход с термодвойка • Инфрачервен нагревател • Воден колектор плюс клапи • Вакуумни клапи за обезвъздушаване, изпомпване и др. Бележки: В момента се използва за резистивно изпаряване (няма налични лодки). Настоящият PLC и електро-табло са премахнати поради IP причини. При необходимост нашата фирма Orange Thin Films може да извърши цялостна реновация с автоматизация чрез Labview и нови процеси (като е-лъчево изпаряване, магнетронно разпрашване, изпаряване и др.) Конфигурация на Coatеr 2: Duodpfshwv Tfox Afhop • 2x Pfeiffer TPH 2201 s p c (хоризонтални турбопомпи 2200 л/сек), изцяло реновирани • Pfeiffer DCU 600 • 2x VAT дросел клапи 64048-pe48-ads2/0001 • 1x Pfeiffer PKR251 fullrange сензор • Pfeiffer TPR280 за предварителен вакуум • Pfeiffer DUO 120 предварителна помпа (120 м³/ч) • Вакуумна камера: за субстрат с кръгъл размер 840 мм • Включва екранировка и резервна екранировъчна система • 2x инспекционни прозорци • Няколко преминавания през стената • Въртящ се проход с термодвойка • Инфрачервен нагревател • Воден колектор плюс клапи • Вакуумни клапи за обезвъздушаване, изпомпване и др. Бележки: В момента се използва за резистивно изпаряване (няма налични лодки). Настоящият PLC и електро-табло са премахнати поради IP причини. При необходимост фирма Orange Thin Films може да изпълни цялостна реновация с автоматизация чрез Labview и нови процеси (като е-лъчево изпаряване, магнетронно разпрашване и др.).

Година на производство: 1989, състояние: готов за употреба (използван), За нанасяне на тънки метални слоеве в нанометровия диапазон от различни материали, катоди хром и мед, една камера, въртяща се кошница, комплект за предпомпване, турбопомпа, топла и студена водоснабдителна система за отопление и охлаждане на инсталацията. Охладителна система L&R Kältetechnik WHK-15-W, година на производство: 2004. Dsdpfxehwm Iis Afheup Високоволтов източник ADS Maris, електрически шкаф с управление Siemens, цялостен реновиран контрол на инсталацията, година на производство: 2004.