Фронт-енд модул за вафли 300 мм
BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter

Фиксирана цена без ДДС

59 750 €

Година на производство

2010

Състояние

Употребяван

Местоположение

Dresden

Фронт-енд модул за вафли 300 мм BROOKS ASYST Spartan EFEM Sorter

Показване на карта

Данни за машината

Обозначение на машината:: Фронт-енд модул за вафли 300 мм

Производител:: BROOKS ASYST

Модел:: Spartan EFEM Sorter

Година на производство:: 2010

Състояние:: употребяван

Цена и локация

Фиксирана цена без ДДС

59 750 €

Местоположение:: Heilbronner Str. 22, 01189 Dresden, Deutschland

Позвънете

Детайли за офертата

ID на обявата:: A20798077

Референтен номер:: LW43278

Актуализация:: последно на 05.01.2026

Описание

Brooks Automation Wafer Front-End Module, 300mm, ASYST Spartan EFEM, Sorter

Модел: ASYST Spartan EFEM
Тип: Сортер
Състояние: Употребяван

Технически данни:
100-240V AC
50/60Hz
10A
Cgedpsx I Ax Sefx Ad Tep

Обща информация:
300-милиметров EFEM с 3 товаро-разтоварни порта, мини-околната среда за чиста стая и интегриран робот за прехвърляне на вафли

Това устройство е Equipment Front End Module (EFEM) от серията ASYST Spartan, разработено за напълно автоматизирана обработка на 300-милиметрови силициеви вафли в производството на полупроводници.

Разполага с три товаро-разтоварни порта, мини-околната среда с ULPA филтри за въздух, вътрешно осветление, всеобхватни системи за сигурност и всички необходими интерфейси за интеграция в производствената линия.

Освен това е оборудвано с напълно интегриран робот за прехвърляне на вафли, който взема вафли от FOUP/касетни товаро-разтоварни порта, разделя ги и ги подава прецизно към последващите процесни модули.

Година на производство: 27.12.2010
Включително CD с ръководства за работа, обслужване и инсталация (9701-3060-01 Rev G)

Офертата е преведена автоматично. Възможни са грешки при превода.