Система за вакуумно разпрашване

Aurion B-VPA-28

Система за разпрашване – Aurion Anlagentechnik

Производител: Aurion Anlagentechnik
Тип на системата: B-VPA-28
Сериен номер: 302343

Технически данни и оборудване

Системата за разпрашване има собствено тегло от приблизително 7000 кг и размери 6217 × 3500 × 2100 мм (Д × Ш × В), без вакуумните помпи. Обемът на камерата е приблизително 670 литра. Максималната околна температура е 25 °C.

Електрическото захранване е 400/230 V при 50 Hz. Номиналната мощност е приблизително 100 kVA, като консумацията на ток е приблизително 125 A.

Система за подложки и отопление

Размери на подложките: 38 × 31 × 1,08 мм

Транспортни палети: 416,9 × 504,5 мм

Капацитет: 144 подложки на транспортен палет

Отопление на подложките до максимум 250 °C

Вакуумна и газова система за процеса

Постижима крайна стойност на налягането: < 1 × 10⁻⁷ hPa

Газ за процеса: Аргон

2 регулатора за дебит Bronkhorst F-201CS, всеки с 500 мл/мин

Система за покритие

2 DC генератора ADL GX 150/800, всеки с 15 kW

Вакуумни компоненти (Pfeiffer Vacuum)

4 × Предварителна вакуумна помпа DUO 35

2 × Предварителна вакуумна помпа DUO 65

2 × Ротационна помпа Okta 500

3 × Турбопомпа HiPace 1200 U

1 × Турбопомпа HiPace 2300 U

Вентилна техника на фирма VAT

Csdpfxs Ah Tlgs Af Aehd
Система за управление и автоматизация

Управлението на системата е базирано на Siemens SIMATIC S7 контролер и включва панелен компютър с WinCC за управление и визуализация на процеса.

Офертата е преведена автоматично. Възможни са грешки при превода.