Употребявани Oerlikon Leybold Wsu 1001H (179)

Състояние: употребяван, UHV система за отлагане (електронно-лъчево и разпрашване) UHV система за отлагане: Използвана е за отлагане на титан и злато (електронно-лъчево) Електронно-лъчевият модул е демонтиран Криопомпата и предпомпата са демонтирани Loadlock: За проби с размер около 75 мм Включва нагревател за проби Турбомолекулярна помпа 450 l/s (Leybold) Процесна камера: Размери: ширина 680 мм x височина 750 мм x дълбочина 590 мм Включва защитен екран Врата с двойно уплътнение (частично изпомпвана) Fpedpfx Aeuhcn Nsczok Нагреватели Основно налягане: ниско 10-7 mbar, високо 10-8 mbar Електроника: Кабинет BaseLine (модулът за електронно-лъчево е демонтиран) Стар PLC (за изпомпване/добавяне на въздух) Газова и водна система: Различни вентили и редуктори за газ и вода Забележка: D&M Vacuumsystems може да модернизира системата за нови процеси (електронно-лъчево отлагане или разпрашване), включително нова електроника и софтуер Цена: 55.000 EUR

Състояние: употребяван, Контролер TMP процесна камера Контролер TMP за уейфърен манипулатор/фронтален зареждач с 10-позиционна касета 5KW DC захранване (AE) 5kW RF захранване (Huettinger) Процесна помпа Leybold D65 + 250/500 Rootsblower Fpjdpfjuhcpysx Aczsk Вакуумен манипулатор за касетна система 1x 1000 л/с турбомолекулярна помпа Leybold 1x LN2 / Meissner капан

Състояние: употребяван, Година на производство: 2011, Функционалност: непроверен, обща дължина: 1 700 мм, обща височина: 1 400 мм, обща ширина: 680 мм, общо тегло: 400 кг, Centrotherm VLO 20-N2-HCOOH вакуумна пещ/процесна инсталация Термична процесна инсталация с подаване на азот и мравчена киселина, включително Leybold вакуумпомпа и контролна система. Година на производство: 2011. Добре поддържано външно състояние, но без документация и без налична парола – поради това е тествано само ограничено. Fpsdpfxoyubphs Aczok Мощност: 10 kW; Ток на натоварване: 25 A; Захранване: 3/N~ 400/230 V 50 Hz; Прекъсвателен капацитет: 0,3 kA; Работни часове: около 21 286 ч.

Година на производство: 2007, състояние: употребяван, Пулсова плазмена нитрираща инсталация, производител PLATEG Plasma Technik Grün, тип PulsPlasma PP 800, 2000 x 2900, моно с подготовка за тандем, номер на инсталацията A 5811, с 1 плазмогенератор, тип PP 800/160, № AN 7491, година на производство 2006/2007, изходно напрежение 600 V, импулсен ток 800 A, импулсна мощност 480 kVA, свързана мощност 190 kW, процесно управление тип Stange 510, вакуумна камера от неръждаема стомана Ø 2000 mm (ползваем обем 1800 mm), височина 2900 mm (ползваем обем 2200 mm), дебелина на стената 10 mm, тегло на партидата 7.500 kg, максимална процесна температура 600 °C, вакуумна помпа производител Leybold, 13 kW, 2.000 m³/h, DN 160, с датчик за налягане и манометър, газоснабдяване, водоснабдяване с вътрешна циркулационна помпа, общи размери: 7.840 mm x 3.470 mm x приблизително 7.400 mm височина, с електрически шкаф включително 2 охлаждащи устройства. Fpedpfjyazhzsx Aczsk